 categorie |
|
|---|---|
| Language | Dutch |
| Clients | ASML |
| Sectors | ICT, Telecom and internet |
Veldhoven, 15 juli 2008 – ASML zorgt er voor dat consumenten en bedrijven binnenkort opnieuw kunnen genieten van de voordelen van kleinere en krachtigere multimediaspelers, gsm’s en GPS-navigatiesystemen. Het bedrijf kondigt vandaag de komst van een nieuwe generatie machines voor de productie van chips/integrated circuits aan: de TWINSCAN™ XT:1950i. Met dit systeem kan de chipindustrie, die in 2007 een waarde van 256 miljard dollar vertegenwoordigde, ook in de toekomst de computerchips verder laten krimpen. De TWINSCAN XT:1950i zorgt er immers voor dat chipmakers nog fijnere lijntjes kunnen tekenen op de volgende generatie chips, waardoor deze nog kleiner gemaakt kunnen worden.
De TWINSCAN XT:1950i werkt op basis van verbeterde immersietechnologie(*) van ASML en is ten opzichte van de eerdere generatie op zo’n 200 punten verfijnd en uitgebreid. Het resultaat: een machine die de performance met 25% overtreft en in staat is nog kleinere chips te vervaardigen. Mede dankzij deze machine is de chipindustrie in staat aan de Wet van Moore te voldoen. Een enorme inzet, doorzettingsvermogen en teamwork stonden aan de basis van dit baanbrekende resultaat.
Je eigen wereldrecord verbeteren
De TWINSCAN XT:1950i is in een razend tempo tot stand gekomen. De ontwikkeling nam slechts anderhalf jaar in beslag. Bij het project waren bij ASML alleen al zo’n 450 mensen betrokken en daarnaast leverden vele leveranciers een belangrijke bijdrage. Jan Mulkens, Program System Engineer bij ASML: “Dit is geen machine die je achter je bureau bedenkt. Dankzij onze voorgaande generaties immersiesystemen hebben we veel kennis en ervaring opgedaan in het complexe samenspel van modules die uiteindelijk ultrakleine, snelle en geavanceerde IC’s moeten opleveren. Kort gezegd hebben we de drie voornaamste performance parameters voor de klant: productiviteit, resolutie en overlay – eens stevig onder de loep genomen. Door onze grenzen opnieuw te verleggen, zijn we in staat geweest ons eigen wereldrecord, op naam van de TWINSCAN 1900i, flink te verbeteren.”
Teamprestatie
Een dergelijke prestatie zet je niet zo maar neer. Herman Boom, product development manager van de XT:1950i: “We zitten hier met een zeer gevarieerde internationale populatie van technici. Het zijn allemaal toppers op hun terrein, fysica, optica, mechatronica, noem maar op. Ondanks de enorme culturele en maatschappelijke verschillen, spreken onze mensen allemaal dezelfde taal als ze aan het werk zijn. Het commitment bij ASML is bovendien uniek. Zo hadden we laatst een ingenieur die volledig opging in de tests die hij aan het draaien was. Toen één van zijn collega ’s ochtends binnenkwam, begroette hij die met: ‘Hé, ben jij er ook nog?’ Hij had niet in de gaten dat hij de hele nacht had overgeslagen en een collega begroette die er niet nog was, maar die weer terugkeerde na een goede nacht slaap. Een tekenend voorbeeld van de ASML-mentaliteit.”
Productie
De TWINSCAN XT:1950i is nu nog een cluster van prototype-configuraties. De komende maanden wordt daarop testwerk verricht en wordt het systeem in een unieke configuratie gegoten die geschikt is voor lopende productie. Herman Boom: “Dat heeft met de complexiteit te maken, het moet wel handelbaar blijven. De machine moet immers in serie kunnen gebouwd, afgeregeld, verscheept, geïmplementeerd bij de klant, en onderhouden worden: alle mensen die daarbij betrokken zijn moeten worden getraind.” De eerste TWINSCAN XT:1950i voor verscheping zal in het eerste kwartaal van 2009 gereed zijn.
Technisch specifiek
De productiviteit van de TWINSCAN XT:1950i is hoog. Dankzij de snelle stages voor het positioneren van wafers en reticles kan de machine tot wel 148 wafers per uur verwerken. Daarbij is de Overlay 30% nauwkeuriger (het plaatsen van verschillende lagen op elkaar) en is de resolutie verbeterd van 40 naar 38 nm, wat 10% extra chips oplevert per wafer. Het systeem springt daarmee in op de zogenaamde ‘halve shrink’ (een halve stap in de Wet van Moore die stelt dat de capaciteit van chips elke 24 maanden verdubbelt). De halve shrink maakt het systeem met name interessant voor DRAM en Flash geheugenproducenten.
Verder is dit het eerste ASML-systeem dat is voorzien van Inline Cleaning (iClean). Dit automatische ‘wasprogramma’ verkort de downtijd doordat de machine niet open hoeft voor systeemreiniging. Bovenstaande geeft slechts een korte schets van de manier waarop de verbeteringen in elkaar grijpen en de performance opschroeven.
(*): Over immersie
Het principe van immersie is niet nieuw. De technologie is al honderd jaar oud en werd eerder toegepast in microscopen. ASML’s immersiemachines plaatsen vloeistof (Ultra High Purified Water) tussen de lens en de silicium wafer (het bronmateriaal van een chip). Dat heeft als voordeel dat de systemen bij het printen van de chips gebruik kunnen maken van een hogere Numerical Aperture. Numerical Aperture (NA) is te vergelijken met een lensopening in de fotografie. Hoe hoger de NA hoe beter de scherptediepte en dus de beeldkwaliteit. De laatste generatie TWINSCAN immersiesystemen van ASML kunnen door de verbeterde beeldkwaliteit lijnen printen tot 38 nanometer. Ter vergelijk een menselijke haar is ongeveer 50.000 (!) nanometer dik.
Over ASML
ASML is de grootste leverancier ter wereld van lithografiesystemen aan de semiconductor-industrie. Dit zijn zeer complexe machines, die een kritische schakel vormen in het productieproces van geïntegreerde circuits, ook wel semiconductors of chips genoemd. Het hoofdkantoor is gevestigd in Veldhoven, Nederland. Bezoek voor meer informatie www.asml.com.
Voor meer info, contacteer
Pieter De Wit – Leads United - +32-3-466 01 88 – asml@leadsunited.com
Jojanneke Strijbos - Corporate Communications ASML - +31 40 268 6324 – Veldhoven